重点的离子束植入工作是在综合纳米技术中心进行的，纳米技术中心是美国能源部（DOE）科学办公室经营的科学用户设施。桑迪亚国家实验室（Sandia National Laboratories）是由霍尼韦尔国际公司（Honeywell International，Inc。）全资子公司Sandia，LLC的国家技术和工程解决方案管理和运营的多军业实验室，该实验室根据合同DE-NA-0003525为美国DOE国家核安全管理局提供了全资子公司。本文中表达的观点并不一定代表美国母鹿或美国政府的观点。这项工作利用了国家科学基金会（NSF）MRSEC计划在奖励号DMR -1419807下部分支持的共同实验设施。我们感谢D. Perry在Sandia Nationallabories提供了重点的离子光束植入，以及D. Zhu和C. Peng为电线键合提供的D. Zhu和C. Peng。N.H.W.致谢陆军研究实验室（ARL）分布式量子信息（CDQI）计划W911NF-15-2-0067的支持。T.-J。L.感谢国防部（DOD）国防科学与工程研究生奖学金（NDSEG）以及空军研究实验室RITA计划FA8750-16-2-0141的支持。K.C.C.感谢NSF研究生研究奖学金计划和ARL CDQI的资金支持。M.P.W.NSF综合量子材料中心（CIQM），NSF赠款编号DMR-1231319的支持。公吨。感谢马萨诸塞州理工学院情报界的情报社区博士后研究奖学金计划的支持， 由橡树岭科学和教育研究所通过美国美国国斗岛与国家情报主任办公室之间的机构间协议进行管理。L.D.S致谢通过麻省理工学院林肯实验室技术办公室管理的国防部研究和工程部长的支持。E.A.B.由NASA太空技术研究奖学金和NSF Ultracold Atoms（PHY-1734011）的支持。I.B.H由Grant DE-SC0019140下的“热力学限制”能量边界研究中心的DOE“光子学”支持。NSF EFRI获取计划EFMA-1641064支持S.L.M。I.R.C.感谢国防部NDSEG奖学金，NSF奖DMR-1747426和NSF EFRI收购计划EFMA-1641064的资金支持。D.E.承认斜切量子月笔倡议的部分支持。